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產(chǎn)品目錄
| 廠商名稱 | 產(chǎn)品名稱 | 產(chǎn)品訂貨號 | 貨期（周） | 產(chǎn)品價格 |
|---|---|---|---|---|
| 中國 | 白光干涉儀器 | A631741 | 洽詢 | 洽詢 |
產(chǎn)品特點
產(chǎn)品特點及用途
結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調整程序，兼顧
體積小、納米分辨率、易學易用等優(yōu)點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征
和微尺寸檢測。應用領域包含
晶體（Wafer）
光盤/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk））
平面電組件（MEMS Components）
平面液晶顯示器（LCD）
高密度線路印刷電路板（HDI PCB））
IC封裝（IC Package））
以上其它材料分析與組件微表面研究
專業(yè)級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）
提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
提供自動表面平整化處理功能
提供高階標準片的軟件自校功能
深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式
線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度
（waviness）的測量分析�？商峁┒噙_17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)（Wafer）
區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計分析。
具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉換（FFT）處理功能。
量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
專業(yè)級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）
系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋
垂直高度可達0.1nm
高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結果
垂直掃描范圍的設定輕松又容易
有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
平臺XYZ位置數(shù)顯示，使檢標的尋找快速又便利
具有手動/自動光強度調整功能以取得最佳的干涉條紋對比。
具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇。
具有解析算法則可處理半透明物體的3D形貌。
具有自動布補點功能
可自行設定掃描方向
結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調整程序，兼顧
體積小、納米分辨率、易學易用等優(yōu)點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征
和微尺寸檢測。應用領域包含
晶體（Wafer）
光盤/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk））
平面電組件（MEMS Components）
平面液晶顯示器（LCD）
高密度線路印刷電路板（HDI PCB））
IC封裝（IC Package））
以上其它材料分析與組件微表面研究
專業(yè)級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）
提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
提供自動表面平整化處理功能
提供高階標準片的軟件自校功能
深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式
線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度
（waviness）的測量分析�？商峁┒噙_17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)（Wafer）
區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計分析。
具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉換（FFT）處理功能。
量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
專業(yè)級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）
系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋
垂直高度可達0.1nm
高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結果
垂直掃描范圍的設定輕松又容易
有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
平臺XYZ位置數(shù)顯示，使檢標的尋找快速又便利
具有手動/自動光強度調整功能以取得最佳的干涉條紋對比。
具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇。
具有解析算法則可處理半透明物體的3D形貌。
具有自動布補點功能
可自行設定掃描方向
技術指標
|
系統(tǒng)配備 |
顯微鏡、掃描控制器、移動平臺、取像單元、個人電腦 | |||||
|
顯微鏡 |
單眼顯微鏡(標準配件) | |||||
|
干涉物鏡(選配) |
放大率 |
10X 20X 50 | ||||
|
視野( mm) |
0.5 0.25 0.1 | |||||
|
光學解析度(mm) |
1.12 0.84 0.61 | |||||
|
影像縮放 |
1.0X(標配) 0.5X（選配） | |||||
|
垂直掃描控制器 |
掃描范圍 |
100um 400um | ||||
|
掃描解析度 |
0.1nm | |||||
|
掃描模式 |
自動 | |||||
|
光強度調整 |
自動/手動 | |||||
|
掃描速度 |
12nm/s | |||||
|
樣品移動平臺 |
X、Y平面移動平面 |
150mm*100mm,手動(標準配件) | ||||
|
Z軸移動平臺 |
80mm,手動(標準配件) | |||||
|
位置數(shù)位顯示單元 |
三軸光學尺與三軸數(shù)位顯示器(解析度 1um) | |||||
|
偏移調整平臺 |
手動 | |||||
|
取像單元 |
影像感測量 |
面型CCD(標準配件) | ||||
|
感測器解析度 |
640*480(標準配件) | |||||
|
電腦配置 |
Pentium-Computer ,17"LCD Monitor,120G以上硬盤 | |||||
|
分析軟體 |
MS-Windows相容的資料擷取與分析軟體 包含ISO粗糙度/階高分析，快速薄利葉轉換和濾波，多樣的2D和3D觀測視角圖，外形分析，圖像縮放，標準影像檔案格式轉換等等 | |||||
|
階高標準片(選配) |
50nm |
170nm |
230nm |
470nm |
1800nm | |
測量特性
物理特性
可選附件
持有證書
備注
產(chǎn)品規(guī)格列表
| 產(chǎn)品訂貨號 | 產(chǎn)品介紹 | 符合標準 | 最小訂量 | 價格 | 貨期 | 備注 |
| A631741 | 白光干涉儀器，；品牌：中國 | 1 | 洽詢 | 洽詢 | 備注 |
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